真空鍍膜系統主要構成部分二

2020-11-12 16:42:51

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六、機械傳動部件

涂(tu)裝時(shi)，要(yao)(yao)(yao)求(qiu)周圍(wei)的(de)(de)厚度均(jun)勻一(yi)致，這樣涂(tu)裝時(shi)需(xu)要(yao)(yao)(yao)三個轉(zhuan)(zhuan)動量(liang)才(cai)能滿(man)足要(yao)(yao)(yao)求(qiu)。也就(jiu)是說，當需(xu)要(yao)(yao)(yao)大的(de)(de)工(gong)件臺(tai)轉(zhuan)(zhuan)動(I)時(shi)，小的(de)(de)工(gong)件臺(tai)也需(xu)要(yao)(yao)(yao)轉(zhuan)(zhuan)動(II)，而(er)且(qie)工(gong)件本身也可以旋轉(zhuan)(zhuan)(III)。就(jiu)機械設計而(er)言，一(yi)般是在大工(gong)件盤底中心有一(yi)個大的(de)(de)活(huo)動齒(chi)輪，周圍(wei)有幾個小的(de)(de)星(xing)行輪與之(zhi)嚙合，若要(yao)(yao)(yao)實現(xian)產品自轉(zhuan)(zhuan)，一(yi)般用撥叉(cha)來撥動工(gong)件。

七(qi)，加熱和測溫(wen)部件。

涂裝設備一般采(cai)用不(bu)同位置的加(jia)熱(re)器，利(li)用熱(re)電(dian)偶(ou)(ou)控制溫(wen)(wen)度。但由于熱(re)電(dian)偶(ou)(ou)夾頭(tou)與工(gong)件位置不(bu)同，溫(wen)(wen)度讀(du)數(shu)不(bu)能作為實(shi)際(ji)工(gong)件溫(wen)(wen)度。測(ce)量工(gong)件實(shi)際(ji)溫(wen)(wen)度有(you)多種方(fang)法，可在工(gong)件上安(an)裝高(gao)溫(wen)(wen)試紙或熱(re)偶(ou)(ou)計。

離(li)子蒸發(fa)和濺射光源。

真空鍍膜系統

多弧(hu)噴(pen)涂蒸(zheng)發源一(yi)般(ban)是圓餅型，俗稱圓餅型，也有長方形(xing)多弧(hu)噴(pen)涂。靶(ba)(ba)內裝有磁體，通過前(qian)后移動磁體，改變磁場強度(du)，可以調(diao)節(jie)弧(hu)斑(ban)移動速度(du)和(he)軌跡。為降低目標(biao)和(he)靶(ba)(ba)座溫度(du)，需要在靶(ba)(ba)座內連續地注入冷卻水。同時(shi)，為保(bao)證高導率(lv)和(he)高導率(lv)熱傳導性，還可在目標(biao)與(yu)靶(ba)(ba)座之(zhi)間設(she)置錫襯(chen)墊(dian)。磁控制濺射膜(mo)通常采(cai)用矩形(xing)或(huo)圓柱(zhu)形(xing)濺射陰極(ji)。

九、水冷卻系統

通(tong)常包括冷水(shui)塔，冰(bing)水(shui)機，水(shui)泵等(deng)。

十工控系統。