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離子鍍膜工藝及其參數

2021-05-13 11:15:58

離子(zi)(zi)(zi)電鍍要(yao)想獲得符合性能要(yao)求的(de)(de)(de)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo),必須使沉積的(de)(de)(de)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)具有適(shi)當的(de)(de)(de)成(cheng)(cheng)分和組(zu)織(zhi)結構及其(qi)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)基結合力。可以利用上述離子(zi)(zi)(zi)轟擊效果對成(cheng)(cheng)膜(mo)(mo)過(guo)程各環節的(de)(de)(de)有利影響來(lai)實現(xian)。離子(zi)(zi)(zi)電鍍影響成(cheng)(cheng)膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)主要(yao)因(yin)素是(shi)到達基片的(de)(de)(de)各種粒子(zi)(zi)(zi)(包括(kuo)膜(mo)(mo)原(yuan)子(zi)(zi)(zi)和離子(zi)(zi)(zi)、工作氣體的(de)(de)(de)原(yuan)子(zi)(zi)(zi)和離子(zi)(zi)(zi)、反應氣體的(de)(de)(de)原(yuan)子(zi)(zi)(zi)和離子(zi)(zi)(zi))的(de)(de)(de)能量、通(tong)量和各通(tong)量的(de)(de)(de)比例(li)。


離子鍍膜


此外,還有(you)基(ji)(ji)片的(de)(de)(de)(de)表(biao)面狀(zhuang)態和(he)溫(wen)度(du)(du)。實施的(de)(de)(de)(de)手段重(zhong)要(yao)(yao)的(de)(de)(de)(de)是控(kong)制粒(li)子(zi)(zi)的(de)(de)(de)(de)等(deng)離(li)子(zi)(zi)體(ti)濃(nong)度(du)(du)和(he)能量以及基(ji)(ji)礎溫(wen)度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)上升。不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)離(li)子(zi)(zi)電鍍(du)技(ji)術和(he)設備產生(sheng)和(he)控(kong)制等(deng)離(li)子(zi)(zi)體(ti)的(de)(de)(de)(de)機制不(bu)同(tong)。影響成膜(mo)工(gong)藝參數主(zhu)要(yao)(yao)有(you)鍍(du)膜(mo)室(shi)的(de)(de)(de)(de)氣壓、反應氣體(ti)的(de)(de)(de)(de)分(fen)壓、蒸(zheng)發(fa)源(yuan)的(de)(de)(de)(de)電力、蒸(zheng)發(fa)速度(du)(du)、蒸(zheng)發(fa)源(yuan)和(he)基(ji)(ji)礎之(zhi)間的(de)(de)(de)(de)距離(li)、沉積速度(du)(du)、基(ji)(ji)礎的(de)(de)(de)(de)負偏壓和(he)基(ji)(ji)礎溫(wen)度(du)(du)。


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